Transfer Maske, Methode, Muster einer Transfermaske zu Trennen, und Herstellungsmethode für eine Transfermaske

EP1233443 Art A1 21. August 2002

Anmelder: HOYA CORPORATION, Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1233443
Aktenzeichen
EP01961350
Anmeldetag
4. September 2001
Veröffentlichung
21. August 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F1/16H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
HOYA CORPORATION
Hoya Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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