Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP1233449 Art A3 1. März 2006

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1233449
Aktenzeichen
EP02447025
Anmeldetag
15. Februar 2002
Veröffentlichung
1. März 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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