Chemische Abscheidung eines Fluids zur Bildung von Metall- und Legierungsschichten auf Strukturierten und Unstrukturierten Substraten
EP1234063
Art A2
28. August 2002
Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1234063
- Aktenzeichen
- EP00976857
- Anmeldetag
- 2. November 2000
- Veröffentlichung
- 28. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/00H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Massachusetts
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Massachusetts
Staatliches Universitätssystem im US-Bundesstaat Massachusetts mit mehreren Standorten, unter anderem Amherst, Boston und Worcester, aktiv in Forschung und Lehre über zahlreiche Fachrichtungen.
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