Kompaktes Schieberventil
EP1234133
Art B1
10. November 2004
Anmelder: Wafermasters, Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1234133
- Aktenzeichen
- EP00982295
- Anmeldetag
- 29. November 2000
- Veröffentlichung
- 10. November 2004
- Erteilung
- 10. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K51/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Wafermasters, Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇺🇸 USA
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Freeman, Jacqueline Carol
London, Großbritannien
1.647
Patente gesamt
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23
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