Optischer Detektor für Wasserstoff

EP1234167 Art A1 28. August 2002

Anmelder: MST Technology GmbH, ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1234167
Aktenzeichen
EP00978710
Anmeldetag
15. November 2000
Veröffentlichung
28. August 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G01N33/00G01N21/59G01N21/77
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MST Technology GmbH
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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