Verfahren und Apparat zur Selbst-Dopierung von Kontakten für einen Halbleiter

EP1234342 Art A1 28. August 2002

Anmelder: Suniva, Inc., Ebara Corporation, Ebara Solar, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1234342
Aktenzeichen
EP00980763
Anmeldetag
22. November 2000
Veröffentlichung
28. August 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/18H01L31/068H01L31/0224H01L21/228H01L31/0288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Suniva, Inc.
Ebara Corporation
Ebara Solar, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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