Herstellungsverfahren für ein optisches Wellenleitersubstrat und optisches Wellenleitersubstrat

EP1234895 Art A3 31. März 2004

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1234895
Aktenzeichen
EP02251215
Anmeldetag
22. Februar 2002
Veröffentlichung
31. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C8/10G02B6/132G02B6/122H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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