Methode, ein Substrat zu Reinigen und Herstellungsmethode für eine Halbleiteranordnung
EP1235258
Art A1
28. August 2002
Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1235258
- Aktenzeichen
- EP00970125
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 28. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Panasonic
Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schuster, Thomas
München, Deutschland
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17
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Weitere Vertreter
-
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Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München