Methode, ein Substrat zu Reinigen und Herstellungsmethode für eine Halbleiteranordnung

EP1235258 Art A1 28. August 2002

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1235258
Aktenzeichen
EP00970125
Anmeldetag
27. Oktober 2000
Veröffentlichung
28. August 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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