Vorrichtung und Methode um Hochviskose Flüssigkeiten zu Pumpen

EP1235625 Art A2 4. September 2002

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1235625
Aktenzeichen
EP00982386
Anmeldetag
30. November 2000
Veröffentlichung
4. September 2002
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/26F04B43/067F04B43/02F04B43/06F04B53/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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