Gatterdielektrikum und Herstellungsmethode mit Binären Nicht-Kristallinen Analoga von Siliziumdioxid

EP1236224 Art A1 4. September 2002

Anmelder: NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY, Lucovsky, Gerald 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1236224
Aktenzeichen
EP00989718
Anmeldetag
25. Oktober 2000
Veröffentlichung
4. September 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/265H01L21/336H01L21/8238H01L21/4763
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
Lucovsky, Gerald
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 North Carolina State University

US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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