Silikon enthaltendes Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren

EP1236745 Art B1 23. Juli 2008

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1236745
Aktenzeichen
EP02251419
Anmeldetag
28. Februar 2002
Veröffentlichung
23. Juli 2008
Erteilung
23. Juli 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C08F30/08G03F7/075C08G77/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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