Zusammensetzung für eine reflexvermindernde Unterschicht für die Lithographie

EP1237042 Art B1 9. November 2005

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1237042
Aktenzeichen: EP02003280
Anmeldetag: 22. Februar 2002
Veröffentlichung: 9. November 2005
Erteilung: 9. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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