Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung von Rasterkraftmikroskop-Messungen
EP1237161
Art B1
14. Mai 2014
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1237161
- Aktenzeichen
- EP02447029
- Anmeldetag
- 27. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2014
- Erteilung
- 14. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01Q10/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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