Vakuumvorrichtung und übertragungsvorrichtung
EP1237180
Art A3
8. Dezember 2004
Anmelder: Seiko Instruments Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1237180
- Aktenzeichen
- EP02251435
- Anmeldetag
- 28. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Seiko Instruments Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Seiko Instruments
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiba, tätig in den Bereichen Präzisionsinstrumente, Uhren und elektronische Bauteile.
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Vertreten von
Sturt, Clifford Mark
London, Großbritannien
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