Dielektrische Schichtenfolge zur Verringerung des Nitridverbrauchs
EP1237182
Art A3
2. Oktober 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1237182
- Aktenzeichen
- EP02250813
- Anmeldetag
- 6. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 2. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105H01L23/29H01L23/31
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Frost, Alex John
London, Großbritannien
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