Herstellung von Nebeneinanderliegenden Inseln durch Selbstorganisierende Abscheidung auf einem Substrat und So Erhaltene Anordnung

EP1238413 Art A1 11. September 2002

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1238413
Aktenzeichen
EP01974416
Anmeldetag
1. Oktober 2001
Veröffentlichung
11. September 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L29/15
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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