Verfahren zur Epitaxie von (indium, Aluminium, Gallium)-Nitrid auf Fremdsubstraten
EP1238414
Art A1
11. September 2002
Anmelder: Technische Universität Berlin 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1238414
- Aktenzeichen
- EP01984676
- Anmeldetag
- 22. August 2001
- Veröffentlichung
- 11. September 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/203H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universität Berlin
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
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