Bor-Diffusionsbarriere-Schicht und Verwendung zur Herstellung von einem Halbleiterbauelement
EP1238416
Art A1
11. September 2002
Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc., HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC., Micro C Technologies, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1238416
- Aktenzeichen
- EP01964167
- Anmeldetag
- 17. August 2001
- Veröffentlichung
- 11. September 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L29/51
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi Kokusai Electric Inc.
HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
Micro C Technologies, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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Boyce, Conor
Dublin, Irland
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