Saugzwischenträger und Verwendung zur Herstellung einer Dünnschichtstruktur

EP1238435 Art A1 11. September 2002

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1238435
Aktenzeichen
EP00993461
Anmeldetag
12. Dezember 2000
Veröffentlichung
11. September 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/0392H01L31/18H01L31/042H01L21/20H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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