Teilchenoptische Linsenanordnung und Verfahren unter Einsatz einer solchen Linsenanordnung
EP1239510
Art B1
1. August 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1239510
- Aktenzeichen
- EP02004543
- Anmeldetag
- 27. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 1. August 2007
- Erteilung
- 1. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/147G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
448
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Schorr, Frank, Dr
NoneMünchen