Prozess zur Trennung vom Prägeform und Substrat bei der Imprint-Lithographie und dazugehöriges Imprint-Lithographieverfahren

EP1240550 Art B1 8. Mai 2013

Anmelder: The Board of Regents of The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1240550
Aktenzeichen
EP00976753
Anmeldetag
30. Oktober 2000
Veröffentlichung
8. Mai 2013
Erteilung
8. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Board of Regents of The University of Texas System
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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