Lithographisches Verfahren mit Euv-Strahlenquelle und Breitband-Mehrschichtspiegeln
EP1240551
Art A2
18. September 2002
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1240551
- Aktenzeichen
- EP00988892
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 18. September 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F7/20H05G2/00G21K1/06G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
5.929 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Poulin, Gérard
Paris, Frankreich
1.981
Patente gesamt
33
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte