Photoresistzusammensetzung für die Belichtung mit Duv-Strahlung
EP1240553
Art B1
17. Juni 2009
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant Finance (BVI) Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1240553
- Aktenzeichen
- EP00981273
- Anmeldetag
- 18. November 2000
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2009
- Erteilung
- 17. Juni 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant Finance (BVI) Limited - Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
1.430
Patente gesamt
30
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hütter, Klaus, Dr
NoneSulzbach