Becher, Schleuder-, Spül- und Trockenvorrichtung und Verfahren zum Laden einer Halbleiterscheibe auf eine Schleuder-, Spül- und Trockenvorrichtung
EP1240662
Art B1
14. Februar 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1240662
- Aktenzeichen
- EP00988302
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2007
- Erteilung
- 14. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
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