Spannungsdoppelbrechungsplatte aus Calciumfluorid (CaF2) sowie Zugehöriges Herstellungsverfahren

EP1242836 Art B1 22. März 2006

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1242836
Aktenzeichen: EP00988198
Anmeldetag: 21. Dezember 2000
Veröffentlichung: 22. März 2006
Erteilung: 22. März 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/30G02B1/02C30B29/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML US, Inc.
Silicon Valley Group, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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