Verfahren zur Ätzung einer Kohlenstoff-Dünnschicht und Vorrichtung dafür

EP1244138 Art A3 3. März 2004

Anmelder: OSAKA PREFECTURE, Hosiden Corporation, Osaka Prefecture, HOSIDEN CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1244138
Aktenzeichen
EP02251948
Anmeldetag
19. März 2002
Veröffentlichung
3. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/033C04B35/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
OSAKA PREFECTURE
Hosiden Corporation
Osaka Prefecture
HOSIDEN CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hosiden

Hosiden ist ein japanischer Hersteller von elektronischen Steckverbindern, Sensoren und Wandlerkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Nachrichtentechnik, ergänzt durch Software und Optik für Verbindungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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