Ionenquelle

EP1245036 Art B1 19. Juni 2013

Anmelder: Semequip, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1245036
Aktenzeichen
EP00988056
Anmeldetag
13. Dezember 2000
Veröffentlichung
19. Juni 2013
Erteilung
19. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/48H01J37/317H01J27/20H01L21/265H01J37/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Semequip, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Lieck, Hans-Peter München, Deutschland
74
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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