Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes in einer Optik
EP1245982
Art B1
30. November 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1245982
- Aktenzeichen
- EP02005695
- Anmeldetag
- 13. März 2002
- Veröffentlichung
- 30. November 2005
- Erteilung
- 30. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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