Filtriermethode basierend auf einem Neutralen Verhalten des Filtermaterials
EP1246682
Art B1
28. November 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1246682
- Aktenzeichen
- EP01942324
- Anmeldetag
- 12. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 28. November 2007
- Erteilung
- 28. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D37/00B01D39/00B01D37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS, INC.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Henkel, Feiler, Hänzel
München, Deutschland
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Henkel & Partner mbB · München