In-Situ-Oxydationsbehandlung mit Luft von Rückständen aus der Dampfphasen-Metalloxid-Beschichtung
Anmelder: Applied Materials, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1246694
- Aktenzeichen
- EP00980656
- Anmeldetag
- 22. November 2000
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/04B01D53/86
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.790 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
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Schüssler, Andrea
Kanzlei Huber & Schüssler · München