In-Situ-Oxydationsbehandlung mit Luft von Rückständen aus der Dampfphasen-Metalloxid-Beschichtung
EP1246694
Art A1
9. Oktober 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1246694
- Aktenzeichen
- EP00980656
- Anmeldetag
- 22. November 2000
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/04B01D53/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
Patente gesamt
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Fachgebiete
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Weitere Vertreter
-
Schüssler, Andrea
Kanzlei Huber & Schüssler · München