Auskleidung für Halbleiter-Ätzkammer
EP1247287
Art A1
9. Oktober 2002
Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY, E.I. DUPONT DE NEMOURS AND COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1247287
- Aktenzeichen
- EP01904835
- Anmeldetag
- 11. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- E. I. du Pont de Nemours and Company
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
E.I. DUPONT DE NEMOURS AND COMPANY - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
DuPont
US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Morf, Jan Stefan
München, Deutschland
949
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33
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13
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Weitere Vertreter
-
Abitz, Walter, Dr.-Ing
NoneMünchen