Methode und Apparat zur Endpunktbestimmung eines Photolackentfernungsprozesses
EP1247295
Art B1
2. Dezember 2009
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1247295
- Aktenzeichen
- EP00988207
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2009
- Erteilung
- 2. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
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