Lasersystem und -Verfahren zur Bearbeitung einer Speicherverbindung mit einer Folge von Laserpulsen mit einer Ultrakurzen Pulsbreite

EP1247297 Art A2 9. Oktober 2002

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1247297
Aktenzeichen
EP01901912
Anmeldetag
9. Januar 2001
Veröffentlichung
9. Oktober 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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