Teilchenoptische Vorrichtung, Beleuchtungsvorrichtung und Projektionssystem sowie Verfahren unter Verwendung derselben
EP1248282
Art B1
28. November 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1248282
- Aktenzeichen
- EP02007523
- Anmeldetag
- 2. April 2002
- Veröffentlichung
- 28. November 2007
- Erteilung
- 28. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/30G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
448
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Schorr, Frank, Dr
NoneMünchen