Keramiksubstrat für Halbleiterfertigungs-, Inspektionsapparat, Keramikheizer, Elektrostatisch, Klammerloser Halter und Substrat für Scheibentester

EP1248293 Art A1 9. Oktober 2002

Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1248293
Aktenzeichen
EP01984368
Anmeldetag
25. Juli 2001
Veröffentlichung
9. Oktober 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68C04B35/10H05B3/10H05B3/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IBIDEN CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ibiden

Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.

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Kanzlei
Boeters & Lieck München, Deutschland

Boeters & Lieck ist eine Kanzlei aus Patentanwälten und Rechtsanwälten mit Sitz in München. Sie ist als European Patent and Trademark Attorneys tätig und bei der Patentanwaltskammer sowie dem Institut der beim Europäischen Patentamt zugelassenen Vertreter (epi) registriert.

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