Steuerung für einen HF-Leistungsgenerator mit geringer Kabellängeempfindlichkeit

EP1248363 Art B1 30. Dezember 2009

Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1248363
Aktenzeichen
EP02001370
Anmeldetag
19. Januar 2002
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Erteilung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H03F1/52
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik
Vertreten von
Neumann, Ernst Dieter Köln, Deutschland
161
Patente gesamt
23
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Straßen-, Wasser- & Tiefbau Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Verpackungs- & Fördertechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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