Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von extrem ultravioletter Strahlung

EP1248499 Art B1 26. Mai 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Philips Intellectual Property & Standards GmbH, Koninklijke Philips Electronics N.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., Philips Corporate Intellectual Property GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1248499
Aktenzeichen
EP01125762
Anmeldetag
29. Oktober 2001
Veröffentlichung
26. Mai 2010
Erteilung
26. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Philips Intellectual Property & Standards GmbH
Koninklijke Philips Electronics N.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Philips Corporate Intellectual Property GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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