Atomschichten-Cvd von Sliziumdioxid-Enthaltendenfilmen
EP1248865
Art B1
5. Oktober 2016
Anmelder: ASM INTERNATIONAL N.V., ASM Microchemistry Oy 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1248865
- Aktenzeichen
- EP00987492
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2016
- Erteilung
- 5. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C23C16/40C23C16/44C30B25/02C23C16/455H01L21/02C30B29/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASM INTERNATIONAL N.V.
ASM Microchemistry Oy - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Vertreten von
Sundman, Christoffer
Helsinki, Finnland
67
Patente gesamt
15
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Laine IP Oy
Laine IP Oy · Helsinki
-
Seppo Laine Oy
Seppo Laine Oy · Helsinki