Verringerung von Substratdefekten in Masken Mithilfe von Pufferschichten
EP1248963
Art B1
22. März 2006
Anmelder: EUV Limited Liability Corporation, The Regents of the University of California, THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1248963
- Aktenzeichen
- EP00980464
- Anmeldetag
- 16. November 2000
- Veröffentlichung
- 22. März 2006
- Erteilung
- 22. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- EUV Limited Liability Corporation
The Regents of the University of California
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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