Dielektrikum-Herstellungsverfahren zum Dichten der Porosität von Geätzten Materialen mit Niedriger Dielektrizitätskonstante

EP1249039 Art A1 16. Oktober 2002

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1249039
Aktenzeichen
EP00963644
Anmeldetag
20. September 2000
Veröffentlichung
16. Oktober 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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