Gasreibungspumpe mit zusätzlichem Gaseinlass

EP1249614 Art B1 4. November 2009

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1249614
Aktenzeichen
EP02002738
Anmeldetag
7. Februar 2002
Veröffentlichung
4. November 2009
Erteilung
4. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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