Belichtungsverfahren zur Erzeugung eines Musters für IC-Chips auf einem Retikel unter Verwendung von Originalmasken

EP1249733 Art A3 9. Februar 2005

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1249733
Aktenzeichen: EP02007382
Anmeldetag: 9. April 2002
Veröffentlichung: 9. Februar 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kabushiki Kaisha Toshiba
DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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