Ein Mehrschrittverfahren zur Metallabscheidung
EP1249861
Art A3
21. November 2007
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1249861
- Aktenzeichen
- EP02447041
- Anmeldetag
- 22. März 2002
- Veröffentlichung
- 21. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/288H01L21/768C25D3/02C25D3/38C25D3/56C25D7/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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