Verfahren und Gerät zum Reduzieren der Dicke von dünnen Scheiben

EP1249864 Art A1 16. Oktober 2002

Anmelder: ABB Schweiz AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1249864
Aktenzeichen: EP01810351
Anmeldetag: 9. April 2001
Veröffentlichung: 16. Oktober 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66B28D5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ABB Schweiz AG
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 ABB

Schweizerisch-schwedischer Technologiekonzern mit Sitz in Zürich. Fokussiert auf Elektrifizierung, Robotik, industrielle Automatisierung sowie Antriebstechnik für Industrie- und Energiekunden.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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