Vielschichtige metallische dünne Barriereschichten für Kupfer-Zwischenverbindungen, abgeschieden durch ALCVD

EP1249865 Art A3 2. Januar 2004

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1249865
Aktenzeichen: EP02006940
Anmeldetag: 26. März 2002
Veröffentlichung: 2. Januar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sharp Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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