Vorrichtung und Vefahren für das Kontrollierte Polieren und Planarisieren von Halbleiterschleifen

EP1250215 Art B1 21. April 2004

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1250215
Aktenzeichen
EP01946810
Anmeldetag
12. Januar 2001
Veröffentlichung
21. April 2004
Erteilung
21. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B53/02B24D7/14B24B47/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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