Anordnung zur Herstellung Optischer Schaltungen durch Ätzung aus Halbleitermaterial

EP1250617 Art A1 23. Oktober 2002

Anmelder: Deutsche Telekom AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1250617
Aktenzeichen: EP00993541
Anmeldetag: 29. November 2000
Veröffentlichung: 23. Oktober 2002
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/12H01L21/3063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Deutsche Telekom AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Deutsche Telekom

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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