Herstellung von optisch abgebildeten Strukturen mit einer Phasenschiebung von transmittierten Lichtanteilen

EP1251397 Art A3 27. Juli 2005

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1251397
Aktenzeichen
EP02006942
Anmeldetag
26. März 2002
Veröffentlichung
27. Juli 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/14G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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