Verfahren zum Strukturieren einer Dünnfilmschicht unter Verwendung von Phasenwechselmaterialien

EP1251398 Art B1 13. Januar 2016

Anmelder: Xerox Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1251398
Aktenzeichen: EP02008866
Anmeldetag: 19. April 2002
Veröffentlichung: 13. Januar 2016
Erteilung: 13. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: B41M5/00B41M3/00G02F1/1368G03F1/00G03F7/20H01L21/033H01L21/308H01L27/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Xerox Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Xerox

US-amerikanischer Technologiekonzern, der Drucker, Kopierer, Multifunktionsgeräte sowie Dokumentenmanagement- und Druckdienstleistungen für Unternehmen anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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