Endpunktüberwachung und Änderung der Poliergeschwindigkeit
EP1251998
Art A1
30. Oktober 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1251998
- Aktenzeichen
- EP01903464
- Anmeldetag
- 31. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B49/04B24B37/04B24B49/12B24B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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